纯度是石英玻璃的重要目标
,对理化功能和使用功能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,用于半导体工业的石英玻璃,对纯度的请求更为苛刻,微量的杂质将给半导体资料的电功能和寿数以及集成度带来严峻的影响。由于半导体资料的纯度请求控制在ppb数量级以下,因此石英玻璃则应控制在PPm数量级以习惯半导体工业的需求。B的分凝系数近于1,较难除去,是较有害的杂质之一,Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿数,K、Na、Li是单晶资料产生微缺点的有害杂质。
石英玻璃的纯度
纯度是石英玻璃的重要指标,对理化性能和运用性能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,用于半导体工业的石英玻璃,对纯度的请求更为苛刻,微量的杂质将给半导体资料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。由于半导体资料的纯度请求控制在ppb数量级以下,因而石英玻璃则应控制在PPm数量级以顺应半导体工业的需求。B的分凝系数近于1,较难除掉,是较有害的杂质之一,Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命,K、Na、Li是单晶资料产生微缺陷的有害杂质。本公司为半导体工业效劳已有40余年的历史,并一直努力于去除上述有害杂质的研制工作。
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